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JBO竞博·体育度亘核芯申请脊波导制备方法等专利避免了空洞钻蚀的效果
金融界2025年1月18日消息,国家知识产权局信息显示,度亘核芯光电技术(苏州)有限公司申请一项名为“脊波导制备方法、脊波导以及激光器”的专利,公开号CN 119310679 A,申请日期为2024年12月。
专利摘要显示,本申请提供一种脊波导制备方法、脊波导以及激光器,属于半导体器件制备技术领域,所述方法包括:在脊波导的表面沉积绝缘层,并在所述绝缘层上涂覆光刻胶,其中,所述脊波导至少包括两段脊波导段;确定所述脊波导的分界线,并根据所述分界线确定刻蚀区域;分别对所述刻蚀区域内的光刻胶、绝缘层进行刻蚀,以在所述脊波导上得到电极窗口。本申请能够有效解决传统刻蚀工艺中,受脊波导脊宽变化影响而导致的刻蚀速率不一致的问题,确保了刻蚀过程的均匀性,进而减少了电化学腐蚀的风险,避免了空洞钻蚀的效果。
天眼查JBO官网APP首页登录APP下载资料显示,度亘核芯光电技术(苏州)有限公司,成立于2017年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业JBO竞博·体育。企业注册资本28978.94万人民币,实缴资本27497.94万人民币。通过天眼查大数据分析,度亘核芯光电技术(苏州)有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目41次,知识产权方面有商标信息17条,专利信息276条,此外企业还拥有行政许可15个。
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